的列出原因,清单给我。”光刻机的主要硬件零部件主要是三大系统,光源、镜头和工作台掩膜台。
在28nm这个级别,这些技术都已经被各企业或者高校、研究所攻克了的,采购应该不成问题。
而其他的东西,诸如自动对准系统、调教调平测量系统、掩膜和硅片的传输系统、环境与微控制系统,包括整机的灵魂和大脑整机操作系统,等等这些,只要硬件到位了,都不是问题。
别忘了,卷耳智能科技的本行:AI!
事实上,纪弘这些天在华为让出的这条产线上,进行的系统重构就已经涉及到了这所有的内容。
所以,系统方面完全不需要担心。
当然,卷耳智能科技既然出手了,28nm肯定不会是终点。
组装这个级别的光刻机,那就是试试水,顺便锻炼一下团队。纪弘的最终目标肯定是EUV。
纪弘不清楚EUV的三大件和若干小件,国内企业和研究机构的进展,但他的思路很简单,那就是:关门,放AI!
简单来说就是,哪个零部件还满足不了EUV光刻机的需求,那就给哪个零部件的研究机构训练一个工业AI专门去发现问题去提升。
比如:高端镜头无法满足需求,是外观的精准度和精度不够?还是内部质量和光学指标不满足需求?
那就针对性的去改良和优化机械加工和光学加工工艺。
哪怕是不断的调整各种产线的参数,通过AI计算筛选出最优选择,都是一个极佳的方法。
其他各种零部件,其实大同小异。
交代完了陈继业,纪弘还联系了刘向东院士说明了一下情况。
刘向东院士也是很诧异:“你们决定自己做光刻机了?我了解了一下沪微的情况,他们对合作不热衷,原因是他们认为自己已经到了最后时刻,马上就能实现量产和交付,自己就能搞定。”
“不管什么原因吧,”纪弘也不纠结这些:“都不重要,重要的是,刘院士有没有兴趣到鼎佳来做个一个兼职?没什么要求,没事儿去看看就行。”
“这……”刘向东院士有些犹豫。
“我这几天一直在华东工厂,”纪弘说道:“我们利用灵犀重构了产线的光刻机系统并又花了生产工艺,将14nm工艺产线的良率提高到了97%!
“四重曝光5nm工艺,利用同样的技术预计也能够提升至65%以上。”
“你们重构了阿斯麦光刻机的整机控制系统?”
“嗯。”
“这……”得到了纪弘肯定回答的刘向东院士彻底惊了——这是什么概念?别人不知道他还能不清楚吗?
光刻机的硬件系统虽然复杂,但是一项项掰开来,其实还是能突破的。
不说28nm,就算是EUV光刻机,大部分的技术,国内都已经实现了相关的突破。
之所以光刻机的研发一直不成功,主要就是零部件太多了,一台EUV,大小零件几十万个。
这零部件一多,控制系统就会变得非常复杂,哪怕是极小的误差,在这种放大效应下,也会变得非常棘手。
这也是光刻机整机控制系统被称为光刻机的灵魂和大脑的原因之一。
纪弘重构了光刻机的整机控制系统,比原厂控制的都要好!
刘向东其实知道,那边的产线工艺是梁松带队攻克的,纪弘能够在此基础上更进一步,这意味着什么?
“行,我答应了。”刘向东院士稍微想了一想,便直接答应下来。院士有多个工作单位是很普遍的事情,自己有这个自由。
他心里突然有一种直觉,那就是卷耳肯定比沪微靠谱。
别看沪微嚷嚷着已经到了最后时刻,马上就能量产和交付,最后谁先搞定还真就不好说。
主要是卷耳智能的研发速度,那就不能用寻常的眼光去看待——成立才几个月啊,搞了多少事儿了这都?
他之所以答应纪弘,也是想看看,类思维AI既软件之后,在工业领域能够发挥多大的作用!
如果真的什么领域都能用,那这AI的价值就完全难以衡量了!
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